KrF-Fotoresist-Harz, Photoresist-Monomere, PAG
Dakenchem forscht sehr intensiv auf dem Gebiet der Fotolackharze. Auf dieser Seite finden Sie unsere Produkte für KrF-Fotolackharze, Fotolackmonomere und PAG.
- KrF-Fotoresist-Harz -
1. VP-H Serie Harz
Dakenchem VP-H Serie Harz
| Harz Serie | Harz Modell | Struktur | PDI | Mw |
| VP-H Serie | VP-3500/H |  |
< 1.1 | 3500 |
| VP-5000/H | 5000 | |||
| VP-8000/H | 8000 | |||
| VP-11000/H | 11000 | |||
| VP-15000/H | 15000 | |||
| VP-19000/H | 19000 | |||
| VP-****/H | >1.2 | xxxx |
Hinweis: H bezieht sich auf Homopolymer, "****" bedeutet, dass es individuell angepasst werden kann.
| VP-H Serie Harz Spezifikation | |
| Erscheinungsbild | Hellgelbe Flüssigkeit |
| Solide | < 40% |
| Lösungsmittel | Propylenglykol-Methylether-Acetat |
| Luftfeuchtigkeit | <0.2% |
| Lösungsmittel-Rückstände | <200ppm |
| Monomer-Rückstand | <200ppm |
| Einzelnes Gold | <10ppb |
| Partikel ( >2μm ) | <100 Zellen /mL |
2. VP-A Serie Harz
Dakenchem VP-A Serie Harzprodukte
| Harz Serie | Harz Modell | Struktur | x:y | PDI | Mw |
| VP-A Serie | VP-6000/A |  |
85:15 70:30 65:35 X:Y |
< 1.1 | 6000 |
| VP-9000/A | 9000 | ||||
| VP-13000/A | 13000 | ||||
| VP-15000/A | 15000 | ||||
| VP-17000/A | 17000 | ||||
| VP-21000/A | >1.5 | 21000 | |||
| VP-****/A | xxxx |
Hinweis: A steht für Acetal-Polymer; "****" bedeutet, dass es individuell angepasst werden kann.
Dakenchem VP-A Serie Harz Spezifikationen
| Erscheinungsbild | Hellgelbe Flüssigkeit |
| Solide | < 40% |
| Lösungsmittel | Propylenglykol-Methylether-Acetat |
| Luftfeuchtigkeit | <0.2% |
| Rückstände von Lösungsmitteln | <200ppm |
| Monomer-Rückstand | <200ppm |
| Einzelnes Gold | <5ppb |
| Schutzgruppe Verhältnis Abweichung | 1% |
| Partikel ( >2μm ) | <100 Zellen /mL |
3. VP-B Serie Harz
Dakenchem VP-B Serie Harzprodukte
| Harz Serie | Harz Modell | Struktur des Harzes | x:y | PDI | Mw |
| VP-B Serie | VP-6500/B |  |
80:20 65:35 |
≤ 1.1 | 6500 |
| VP-9500/B | 9500 | ||||
| VP-13000/B | 13000 | ||||
| VP-17000/B | 17000 | ||||
| VP-***/B | **** | ||||
| VP-12000/B | ≥ 1.5 | 12000 | |||
| VP-15000/B | 15000 | ||||
| VP-19000/B | 19000 | ||||
| VP-***/B | **** |
Hinweis: B bezieht sich auf Boc-Polymer tBoc-Polymer; "****" bedeutet, dass es individuell angepasst werden kann.
Dakenchem VP-B Serie Harz Spezifikationen
| Erscheinungsbild | Hellgelbe Flüssigkeit |
| Solide | < 40% |
| Lösungsmittel | PGMEA |
| Luftfeuchtigkeit | <0.2% |
| Lösungsmittel-Rückstände | <200ppm |
| Monomer-Rückstand | <200ppm |
| Einzelnes Gold | <10ppb |
| Schutzgruppe Verhältnis Abweichung | 2% |
| Partikel ( >2μm ) | <100 Zellen /mL |
4. VP-C Serie Harz
Dakenchem VP-C Serie Harz
Produkte
| Harz Serie | Harz Modell | Struktur des Harzes | x:y:z | PDI | Mw |
| VP-C Serie | VP-8000/C |  |
67:16:17 60:20:20 |
1.4~1.6 | 8000 |
| VP-9500/C | 9500 | ||||
| VP-11000/C | 11000 | ||||
| VP-13000/C | 13000 | ||||
| VP-15000/C | 15000 | ||||
| VP-17000/C | 17000 | ||||
| VP-20000/C | 20000 | ||||
| VP-****/C | X:Y:Z | **** |
Hinweis: C bezieht sich auf Copolymer; "****" bedeutet, dass es individuell angepasst werden kann.
Dakenchem VP-C Serie Harz Spezifikationen
| Erscheinungsbild | Hellgelbe Flüssigkeit |
| Solide | < 40% |
| Lösungsmittel | Propylenglykol-Methylether-Acetat |
| Luftfeuchtigkeit | <0.2% |
| Rückstände von Lösungsmitteln | <200ppm |
| Monomer-Rückstand | <200ppm |
| Einzelnes Gold | < 1ppb |
| Abweichung der Monomereinheiten | 2% |
| Partikel ( >2μm ) | <100 Zellen /mL |
4. VP-C Serie Harz
Dakenchem VP-C Serie Harz
Produkte
| Harz Serie | Harz Modell | Struktur des Harzes | x:y:z | PDI | Mw |
| VP-C Serie | VP-6500/C |  |
65:10:25 70:10:20 75:5:20 X:Y:Z |
<1.2 | 6500 |
| VP-9500/C | 9500 | ||||
| VP-13000/C | 13000 | ||||
| VP-17500/C | 17500 | ||||
| VP-19000/C | > 1.4 | 19000 | |||
| VP-21000/C | 21000 | ||||
| VP-23000/C | 23000 | ||||
| VP-****/C | **** |
Hinweis: C bezieht sich auf Copolymer; "****" bedeutet, dass es individuell angepasst werden kann.
Dakenchem VP-C Serie Harz Spezifikationen
| Erscheinungsbild | Hellgelbe Flüssigkeit |
| Solide | < 40% |
| Lösungsmittel | PGMEA |
| Luftfeuchtigkeit | <0.2% |
| Rückstände von Lösungsmitteln | <200ppm |
| Monomer-Rückstand | <200ppm |
| Einzelnes Gold | < 5ppb |
| Abweichung des Acetalschutzgruppenverhältnisses | 1% |
| Boc Schutzgruppe Verhältnis | 2% |
| Partikel ( >2μm ) | <100 Zellen /mL |
4. VP-C Serie Harz
Dakenchem VP-C Serie Harz
Produkte
| Harz Serie | Harz Modell | Harz Struktur | x:y:z | Mw |
| VP-C Serie | VP-10500/C |  |
60:15:25 | 10500 |
| VP-9500/0C |  |
50:30:20 | 9500 | |
| VP-****/C | **** | **** | **** |
Hinweis: C bezieht sich auf Copolymer; "****" bedeutet, dass es individuell angepasst werden kann.
Dakenchem VP-C Serie Harz Spezifikationen
| Erscheinungsbild | Farblose transparente Flüssigkeit |
| PDI | 1.60 + 0.10 |
| Solide | < 40% |
| Lösungsmittel | PGMEA |
| Luftfeuchtigkeit | <0.2% |
| Rückstände von Lösungsmitteln | <200ppm |
| Monomer-Rückstand | <200ppm |
| Einzelnes Gold | <10ppb |
4. VP-C Serie Harz
Dakenchem VP-C Serie Harz
Produkte
| Produkt Serie | Produkt Modell | Aufbau | x:y:z | Mw |
| VP-C Serie | VP-10000/C | 60:20:20 65:15:20 x:y:z |
10000 | |
| VP-15000/C | 15000 | |||
| VP-****/C |
Hinweis: C bezieht sich auf Copolymer; "****" bedeutet, dass es individuell angepasst werden kann.
Dakenchem VP-C Serie Harz Spezifikationen
| Erscheinungsbild | Farblose transparente Flüssigkeit |
| PDI | 1.45 + 0.05 |
| Solide | < 40% |
| Lösungsmittel | PGMEA |
| Luftfeuchtigkeit | <0.2% |
| Rückstände von Lösungsmitteln | <200ppm |
| Monomer-Rückstand | <200ppm |
| Einzelnes Gold | <10ppb |
4. VP-C Serie Harz
Dakenchem VP-C Serie Harz
Produkte
| Harz Serie | Harz Modell | Struktur | x:y:z | Mw |
| VP-C Serie | VP-15000/C | 65:15:20 55:15:30 x:y:z |
15000 | |
| VP-25000/C | 25000 | |||
| VP-****/C |
Hinweis: C bezieht sich auf Copolymer; "****" bedeutet, dass es individuell angepasst werden kann.
Dakenchem VP-C Serie Harz Spezifikationen
| Erscheinungsbild | Farblose transparente Flüssigkeit |
| PDI | 1.45 + 0.05 |
| Solide | < 45% |
| Lösungsmittel | PGMEA |
| Luftfeuchtigkeit | <0.2% |
| Lösungsmittel-Rückstände | <200ppm |
| Monomer-Rückstand | <200ppm |
| Einzelnes Gold | <10ppb |
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