Resina fotorresistente KrF, monómeros fotorresistentes, PAG

Dakenchem tiene una investigación muy profunda en el área de la resina fotorresistente, y en esta página, enumeraremos nuestros productos para la resina fotorresistente KrF, monómeros fotorresistentes y PAG.

- Resina fotorresistente KrF -

KrF photoresist resin

1. Resina serie VP-H

Resina Dakenchem serie VP-H
Serie de resina Modelo de resina Estructura PDI Mw
Serie VP-H VP-3500/H Resina serie VP-H < 1.1 3500
VP-5000/H 5000
VP-8000/H 8000
VP-11000/H 11000
VP-15000/H 15000
VP-19000/H 19000
VP-****/H >1.2 xxxx
Nota: H se refiere a homopolímero, "****" significa que se puede personalizar.
Especificación de la resina de la serie VP-H
Aspecto Líquido amarillo claro
Sólido < 40%
Disolventes Acetato de éter metílico de propilenglicol
Humedad <0.2%
Residuo de disolvente <200 ppm
Residuo de monómero <200 ppm
Oro simple <10ppb
Partículas ( >2μm ) <100 células /mL

2. Resina serie VP-A

Productos de resina Dakenchem serie VP-A
Serie resina Modelo de resina Estructura x:y PDI Mw
Serie VP-A VP-6000/A 2. Resina serie VP-A 85:15
70:30
65:35
X:Y
< 1.1 6000
VP-9000/A 9000
VP-13000/A 13000
VP-15000/A 15000
VP-17000/A 17000
VP-21000/A >1.5 21000
VP-****/A xxxx
Nota: A se refiere a Acetal-polímero; "****" significa que se puede personalizar.
Especificaciones de la resina Dakenchem serie VP-A
Aspecto Líquido amarillo claro
Sólido < 40%
Disolventes Acetato de éter metílico de propilenglicol
Humedad <0.2%
Residuo de disolvente <200 ppm
Residuo de monómero <200 ppm
Oro simple <5ppb
Desviación de la ratio del grupo de protección 1%
Partículas ( >2μm ) <100 células /mL

3. Resina serie VP-B

Productos de resina Dakenchem serie VP-B
Serie resina Modelo de resina Estructura de la resina x:y PDI Mw
Serie VP-B VP-6500/B 3. Resina serie VP-B 80:20
65:35
≤ 1.1 6500
VP-9500/B 9500
VP-13000/B 13000
VP-17000/B 17000
VP-***/B ****
VP-12000/B ≥ 1.5 12000
VP-15000/B 15000
VP-19000/B 19000
VP-***/B ****
Nota: B se refiere al polímero Boc tBoc; "****" significa que se puede personalizar.
Especificaciones de la resina Dakenchem serie VP-B
Aspecto Líquido amarillo claro
Sólido < 40%
Disolventes PGMEA
Humedad <0.2%
Residuo de disolvente <200 ppm
Residuo de monómero <200 ppm
Oro simple <10ppb
Desviación de la ratio del grupo de protección 2%
Partículas ( >2μm ) <100 células /mL

4. Resina serie VP-C

Productos de resina Dakenchem serie VP-C
Serie resina Modelo de resina Estructura de la resina x:y:z PDI Mw
Serie VP-C VP-8000/C 4. Resina serie VP-C 67:16:17
60:20:20
1.4~1.6 8000
VP-9500/C 9500
VP-11000/C 11000
VP-13000/C 13000
VP-15000/C 15000
VP-17000/C 17000
VP-20000/C 20000
VP-****/C X:Y:Z ****
Nota: C se refiere al copolímero; "****" significa que se puede personalizar.
Especificaciones de la resina Dakenchem serie VP-C
Aspecto Líquido amarillo claro
Sólido < 40%
Disolventes Acetato de éter metílico de propilenglicol
Humedad <0.2%
Residuo de disolvente <200 ppm
Residuo de monómero <200 ppm
Oro simple < 1ppb
Desviación de la unidad de monómero 2%
Partículas ( >2μm ) <100 células /mL

4. Resina serie VP-C

Productos de resina Dakenchem serie VP-C
Serie resina Modelo de resina Estructura de la resina x:y:z PDI Mw
Serie VP-C VP-6500/C 4. Resina serie VP-C 1 65:10:25
70:10:20
75:5:20
X:Y:Z
<1.2 6500
VP-9500/C 9500
VP-13000/C 13000
VP-17500/C 17500
VP-19000/C > 1.4 19000
VP-21000/C 21000
VP-23000/C 23000
VP-****/C ****
Nota: C se refiere al copolímero; "****" significa que se puede personalizar.
Especificaciones de la resina Dakenchem serie VP-C
Aspecto Líquido amarillo claro
Sólido < 40%
Disolventes PGMEA
Humedad <0.2%
Residuo de disolvente <200 ppm
Residuo de monómero <200 ppm
Oro simple < 5ppb
Desviación de la relación del grupo protector acetal 1%
Proporción del grupo protector Boc 2%
Partículas ( >2μm ) <100 células /mL

4. Resina serie VP-C

Productos de resina Dakenchem serie VP-C
Serie de resina Modelo de resina Estructura de la resina x:y:z Mw
Serie VP-C VP-10500/C 4. Resina serie VP-C 2 60:15:25 10500
VP-9500/0C 4. Resina serie VP-C 3 50:30:20 9500
VP-****/C **** **** ****
Nota: C se refiere al copolímero; "****" significa que se puede personalizar.
Especificaciones de la resina Dakenchem serie VP-C
Aspecto Líquido transparente incoloro
PDI 1.60 + 0.10
Sólido < 40%
Disolventes PGMEA
Humedad <0.2%
Residuo de disolvente <200 ppm
Residuo de monómero <200 ppm
Oro simple <10ppb

4. Resina serie VP-C

Productos de resina Dakenchem serie VP-C
Series de productos Modelo de producto Estructura x:y:z Mw
Serie VP-C VP-10000/C 60:20:20
65:15:20
x:y:z
10000
VP-15000/C 15000
VP-****/C
Nota: C se refiere al copolímero; "****" significa que se puede personalizar.
Especificaciones de la resina Dakenchem serie VP-C
Aspecto Líquido transparente incoloro
PDI 1.45 + 0.05
Sólido < 40%
Disolventes PGMEA
Humedad <0.2%
Residuo de disolvente <200 ppm
Residuo de monómero <200 ppm
Oro simple <10ppb

4. Resina serie VP-C

Productos de resina Dakenchem serie VP-C
Serie de resina Modelo de resina Estructura x:y:z Mw
Serie VP-C VP-15000/C 65:15:20
55:15:30
x:y:z
15000
VP-25000/C 25000
VP-****/C
Nota: C se refiere al copolímero; "****" significa que se puede personalizar.
Especificaciones de la resina Dakenchem serie VP-C
Aspecto Líquido transparente incoloro
PDI 1.45 + 0.05
Sólido < 45%
Disolventes PGMEA
Humedad <0.2%
Residuo de disolvente <200 ppm
Residuo de monómero <200 ppm
Oro simple <10ppb
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