KrF 포토레지스트 수지, 포토레지스트 모노머, PAG
다켄켐은 포토레지스트 수지 분야에 대해 깊이 연구하고 있으며, 이 페이지에서는 KrF 포토레지스트 수지, 포토레지스트 모노머 및 PAG에 대한 당사의 제품을 소개합니다.
- KrF 포토레지스트 수지 -
1. VP-H 시리즈 수지
다켄켐 VP-H 시리즈 수지
| 레진 시리즈 | 레진 모델 | 구조 | PDI | Mw |
| VP-H 시리즈 | VP-3500/H |  |
< 1.1 | 3500 |
| VP-5000/H | 5000 | |||
| VP-8000/H | 8000 | |||
| VP-11000/H | 11000 | |||
| VP-15000/H | 15000 | |||
| VP-19000/H | 19000 | |||
| VP-****/H | >1.2 | xxxx |
참고: H는 호모폴리머를 의미하며, "****"는 사용자 지정이 가능하다는 의미입니다.
| VP-H 시리즈 레진 사양 | |
| 외관 | 밝은 노란색 액체 |
| 솔리드 | < 40% |
| 용매 | 프로필렌 글리콜 메틸 에테르 아세테이트 |
| 수분 | <0.2% |
| 용매 잔류물 | <200ppm |
| 모노머 잔류물 | <200ppm |
| 싱글 골드 | <10ppb |
| 입자 ( >2μm ) | <100세포/mL |
2. VP-A 시리즈 레진
다켄켐 VP-A 시리즈 수지 제품
| 레진 시리즈 | 레진 모델 | 구조 | x:y | PDI | Mw |
| VP-A 시리즈 | VP-6000/A |  |
85:15 70:30 65:35 x:y |
< 1.1 | 6000 |
| VP-9000/A | 9000 | ||||
| VP-13000/A | 13000 | ||||
| VP-15000/A | 15000 | ||||
| VP-17000/A | 17000 | ||||
| VP-21000/A | >1.5 | 21000 | |||
| VP-****/A | xxxx |
참고: A는 아세탈 폴리머를 의미하며, "****"는 사용자 지정이 가능하다는 의미입니다.
다켄켐 VP-A 시리즈 수지 사양
| 외관 | 밝은 노란색 액체 |
| 솔리드 | < 40% |
| 용매 | 프로필렌 글리콜 메틸 에테르 아세테이트 |
| 수분 | <0.2% |
| 용매 잔류물 | <200ppm |
| 모노머 잔류물 | <200ppm |
| 싱글 골드 | <5ppb |
| 보호 그룹 비율 편차 | 1% |
| 입자 ( >2μm ) | <100세포/mL |
3. VP-B 시리즈 레진
다켄켐 VP-B 시리즈 수지 제품
| 레진 시리즈 | 레진 모델 | 수지 구조 | x:y | PDI | Mw |
| VP-B 시리즈 | VP-6500/B |  |
80:20 65:35 |
≤ 1.1 | 6500 |
| VP-9500/B | 9500 | ||||
| VP-13000/B | 13000 | ||||
| VP-17000/B | 17000 | ||||
| VP-***/B | **** | ||||
| VP-12000/B | ≥ 1.5 | 12000 | |||
| VP-15000/B | 15000 | ||||
| VP-19000/B | 19000 | ||||
| VP-***/B | **** |
참고: B는 Boc 폴리머 tBoc 폴리머를 의미하며, "****"는 사용자 지정이 가능하다는 의미입니다.
다켄켐 VP-B 시리즈 수지 사양
| 외관 | 밝은 노란색 액체 |
| 솔리드 | < 40% |
| 용제 | PGMEA |
| 수분 | <0.2% |
| 용매 잔류물 | <200ppm |
| 모노머 잔류물 | <200ppm |
| 싱글 골드 | <10ppb |
| 보호 그룹 비율 편차 | 2% |
| 입자 ( >2μm ) | <100세포/mL |
4. VP-C 시리즈 레진
다켄켐 VP-C 시리즈 수지
제품
| 레진 시리즈 | 레진 모델 | 수지 구조 | X:Y:Z | PDI | Mw |
| VP-C 시리즈 | VP-8000/C |  |
67:16:17 60:20:20 |
1.4~1.6 | 8000 |
| VP-9500/C | 9500 | ||||
| VP-11000/C | 11000 | ||||
| VP-13000/C | 13000 | ||||
| VP-15000/C | 15000 | ||||
| VP-17000/C | 17000 | ||||
| VP-20000/C | 20000 | ||||
| VP-****/C | X:Y:Z | **** |
참고: C는 공중합체를 의미하며, "****"는 사용자 지정이 가능하다는 의미입니다.
다켄켐 VP-C 시리즈 수지 사양
| 외관 | 밝은 노란색 액체 |
| 솔리드 | < 40% |
| 용매 | 프로필렌 글리콜 메틸 에테르 아세테이트 |
| 수분 | <0.2% |
| 용매 잔류물 | <200ppm |
| 모노머 잔류물 | <200ppm |
| 싱글 골드 | < 1ppb |
| 모노머 단위 편차 | 2% |
| 입자 ( >2μm ) | <100세포/mL |
4. VP-C 시리즈 레진
다켄켐 VP-C 시리즈 수지
제품
| 레진 시리즈 | 레진 모델 | 수지 구조 | X:Y:Z | PDI | Mw |
| VP-C 시리즈 | VP-6500/C |  |
65:10:25 70:10:20 75:5:20 x:y:z |
<1.2 | 6500 |
| VP-9500/C | 9500 | ||||
| VP-13000/C | 13000 | ||||
| VP-17500/C | 17500 | ||||
| VP-19000/C | > 1.4 | 19000 | |||
| VP-21000/C | 21000 | ||||
| VP-23000/C | 23000 | ||||
| VP-****/C | **** |
참고: C는 공중합체를 의미하며, "****"는 사용자 지정이 가능하다는 의미입니다.
다켄켐 VP-C 시리즈 수지 사양
| 외관 | 밝은 노란색 액체 |
| 솔리드 | < 40% |
| 용제 | PGMEA |
| 수분 | <0.2% |
| 용매 잔류물 | <200ppm |
| 모노머 잔류물 | <200ppm |
| 싱글 골드 | < 5ppb |
| 아세탈 보호 그룹 비율의 편차 | 1% |
| Boc 보호 그룹 비율 | 2% |
| 입자 ( >2μm ) | <100세포/mL |
4. VP-C 시리즈 레진
다켄켐 VP-C 시리즈 수지
제품
| 레진 시리즈 | 레진 모델 | 수지 구조 | X:Y:Z | Mw |
| VP-C 시리즈 | VP-10500/C |  |
60:15:25 | 10500 |
| VP-9500/0C |  |
50:30:20 | 9500 | |
| VP-****/C | **** | **** | **** |
참고: C는 공중합체를 의미하며, "****"는 사용자 지정이 가능하다는 의미입니다.
다켄켐 VP-C 시리즈 수지 사양
| 외관 | 무색 투명한 액체 |
| PDI | 1.60 + 0.10 |
| 솔리드 | < 40% |
| 용제 | PGMEA |
| 수분 | <0.2% |
| 용매 잔류물 | <200ppm |
| 모노머 잔류물 | <200ppm |
| 싱글 골드 | <10ppb |
4. VP-C 시리즈 레진
다켄켐 VP-C 시리즈 수지
제품
| 제품 시리즈 | 제품 모델 | 구조 | X:Y:Z | Mw |
| VP-C 시리즈 | VP-10000/C | 60:20:20 65:15:20 X:Y:Z |
10000 | |
| VP-15000/C | 15000 | |||
| VP-****/C |
참고: C는 공중합체를 의미하며, "****"는 사용자 지정이 가능하다는 의미입니다.
다켄켐 VP-C 시리즈 수지 사양
| 외관 | 무색 투명한 액체 |
| PDI | 1.45 + 0.05 |
| 솔리드 | < 40% |
| 용제 | PGMEA |
| 수분 | <0.2% |
| 용매 잔류물 | <200ppm |
| 모노머 잔류물 | <200ppm |
| 싱글 골드 | <10ppb |
4. VP-C 시리즈 레진
다켄켐 VP-C 시리즈 수지
제품
| 레진 시리즈 | 레진 모델 | 구조 | X:Y:Z | Mw |
| VP-C 시리즈 | VP-15000/C | 65:15:20 55:15:30 X:Y:Z |
15000 | |
| VP-25000/C | 25000 | |||
| VP-****/C |
참고: C는 공중합체를 의미하며, "****"는 사용자 지정이 가능하다는 의미입니다.
다켄켐 VP-C 시리즈 수지 사양
| 외관 | 무색 투명한 액체 |
| PDI | 1.45 + 0.05 |
| 솔리드 | < 45% |
| 용제 | PGMEA |
| 수분 | <0.2% |
| 용매 잔류물 | <200ppm |
| 모노머 잔류물 | <200ppm |
| 싱글 골드 | <10ppb |